扩散性ma|扩散过程知识介绍.ppt
培训的意义 简单介绍扩散车间的生产流程，强调生产人员安全、生产安全、设备安全 安全培训 太阳能电池工艺的基本流程 PN结的形成 太阳能电池的心脏是一个PN结。 用于制作太阳能电池的硅片是P型的，就是在硅片中掺入一定量的硼（B），使其成为P型硅片。 硅晶体的特点是原子之间通过共价键连接在一起，硅原子的4个价电子与其相邻的4个原子形成4对共享电子对。 这种共享的电子对称为“共价键”。 硅片掺杂硼后，由于硼原子最外层有3个价电子，价键上缺少一个电子，必然形成空位。 我们称这个空位为“洞”。 这种依靠空穴导电的半导体称为空穴型半导体，简称P型半导体。 PN结的形成也是一样的。 磷（P）原子的最外层有五个价电子，其中只有四个参与共价键，另一个不在价键上，成为自由电子。 掺杂磷的半导体起导电作用。 主要是磷提供的自由电子。 这种依靠电子传导的半导体称为电子半导体，简称N型半导体。 如果我们把这个P型硅片放在石英炉管中，加热到一定温度，引入含磷化合物，使硅片表面的磷分解，覆盖在硅片表面，渗透并扩散到硅片中。 N型在有磷渗入的一侧形成，而在没有渗入的一侧硅片内部本来就形成了想要的PN结。 ——这就是所谓的扩散。
扩散的目的是形成PN结。 扩散原理 扩散法）液体源扩散 2.镀膜源扩散 3.固体氮化硼源扩散 目前业内大量生产采用第一种方法。 三氯氧磷纯度等级：6N。 无色透明液体，有刺激性气味。 如果纯度不高，就会呈红黄色。 比重1.67，熔点2，沸点107。在潮湿空气中发烟。 在扩散过程的操作过程中，使用的气体包括纯度为99.999%的N2和O2。 1、小N2：小流量氮气，纯度99.999%； 它将磷源带入炉管。 2、大N2：大流量氮气，纯度99.999%； 净化炉管为扩散创造了净化环境。 3、O2：纯度99.999%； 参与化学反应形成PSG层。 ），其反应式： 2.生成的P在扩散温度下与硅反应生成二氧化硅（引入氧的原因可以看上页反应式，POCl热分解时，若有没有外来氧（O）参与其分解不充分，生成的PCl不易分解，对硅有腐蚀作用，破坏硅片表面状态。但有外来O存在时）其反应式： 为使P充分分解，避免PCl对硅片表面的腐蚀作用，需要在通入氮气的同时通入一定流量的氧气。 在氧气存在下，POCl 热分解的反应式为： POCl 与磷原子，并在硅片表面形成一层磷硅玻璃，然后磷原子扩散到硅中。
戴上手套。 手套的佩戴方式为：内层针织手套，外层PVC手套。 调整好插片的台风量，然后用石英吸笔吸住硅片扩散的反面插入石英舟的凹槽中。 效率的两个参数：少数载流子寿命：描述电子-空穴复合概率的参数； 薄层电阻：硅片的表面（薄层）电阻。 检测：待硅片冷却后，从每炉中取出5片进行检测，位置应为石英舟均匀分布的五个点。 试片从炉尾到炉口依次取下，一次性放入滑动盒内，测试方块电阻和少数载流子寿命。 （参见《薄层电阻测试工作指导书》和《少数寿命测试工作指导书》：用吸笔或镊子将硅片从石英舟中取出，放入干净的转移箱中（轻拿轻放，避免摩擦）碰撞，防止损坏PN结），放入传递窗，卸膜时注意正反面。 规定正面朝上，不得发生摩擦（扩散面指定为正扩散车间。不合格膜的返修方法：1.二次扩散。如果生产中方阻过高扩散性ma，可以做二次扩散工艺 2.反面扩散 清洗通过的硅片后，进行反面生产工艺 3.再制绒 外观不合格，电阻低的硅需要返回制绒车间由于我们车间是分子级（万级）扩散，所以我们对车间的洁净度和工具的卫生要求很高，总结如下： 所有操作工具必须始终保持清洁状态，包括吸笔、镊子、石英舟、碳化硅悬臂桨。
吸笔镊子应放在干净的玻璃烧杯中，不得与人体或其他未清洗过的表面直接接触。 SiC 悬臂桨应尽可能短地暴露在空气中。 安全生产要求及危害防范措施从事危险作业时，应按规定正确作业，包括不得单独作业、正确穿戴防护服等。 正确操作设备。 根据设备维护要求，定期对设备进行检查和维护。 除日常维护外，所有工作都必须由负责人员监督。 保证输出产品的合格检验。 1、扩散后薄层电阻测试仪器：四探头测试仪（除测试薄层电阻外，还可测试硅片电阻率）。 薄层电阻值一般在40-60Ω/sq范围内，每片测五点。 批次间扩散方阻不均匀度为10%，芯片内扩散方阻不均匀度为5%。 不同设备生产的硅片均匀度不同。 2. 扩散后外观检测（目检部分） 1）表面指纹和污点（不能下载） 2）蓝点（一般可以下载，但效率低） 3）黑点（一般可以下载，但效率低）低点）生产安全要求及危害防范措施 设备安全要求及危害防范措施 整体结构分为四大部分 气源部分 设备安全要求及危害防范措施 主菜单界面按4进入设备安全要求及危害防范措施风险防范措施 返回界面，按2启动程序，按6选择工艺菜单 备注：扩散炉除上述方法外，还可以在自动上料系统操作界面进行操作。 石英舟被拾取并放置在装载平台上，其他一切都由电脑自动控制。
在界面中按3终止运行程序主界面，点击主菜单左上角的“进程运行”按钮，会出现如下界面，选择正确的进程文件，点击“运行”按钮，该过程将自动运行。 进程运行后，界面自动跳转到监控状态，此时可以终止或跳过程序。 热：热的表面。 触摸此表面会导致皮肤灼伤。 电击：表示如果此物品带电，您可能会受到电击。 辐射：请注意，如果取下绝缘体和夹具扩散性ma，加热装置仍带电，可能存在伤害眼睛的风险。设备安全要求和危害预防措施
