扩散性ma|扩散问题.docx

工艺诊断指南 问题描述 可能原因 解决方案 预防及改进措施 TCA回流，对软管造成污染 TCA冷井温度大于20OC，瓶内气压高 接头未完全拧紧，确保培养箱正常运行。 二次扩散，R过低，返工处理，加强培训管理，提高员工责任感。 处理原因：POCL3尚未完全响应； 设备原因：通气量不够保证足够的氧量，增加吸气扩散管，软管比较脏。 设计不合理，部分区域响应不充分。 TCA 定期清洁和更换管道。 炉口不扩散。 草稿太大。 可能是炉门没有关好。 检查炉门是否关紧扩散性ma，检查风量是否过大。 如果太大，请调整吃水深度。 气流分布不均。 石英板落下，砸碎了大部分岩石。 大多数结石出现在没有硅晶片的 SiN 浆料上。 船速太快，SiN桨运行不稳，石英板容易掉落。 当桨为空时设置初始速度。 TCA设置为200后，薄层电阻太低。 TCA 后，温度过高。 TCA生产出来后，工艺必须等到温度降到800度以下才能正常运行。 偏磷酸，减少部分磷酸进出管因人为疏忽，立即保证小N2关闭，更换回流管，加强培训和监督，方阻不稳定。 换批次时，由于各厂家的差异，造成硅片在材料上的差异所造成的方块电阻的差异。 相同条件下扩散性ma，阻断性不稳定。 进程号使用错误导致块电阻不稳定。 保证扩散过程按照工艺提示单进行，不得混用。 如果工序号选择不清楚，找技术员帮忙检查温控器，确保20